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产品介绍
极紫外光(EUV)阿秒(miǎo)多(duō)层反射镜设计用(yòng)于阿秒(miǎo)脉冲的转向、聚焦和整形。他(tā)们的多(duō)层膜中心位于65eV（19nm），带宽為(wèi)6eV（1.8nm），為(wèi) S 偏振光提供38%的峰值反射率。这些反射镜支持持续时间為(wèi)330阿秒(miǎo)的极紫外（EUV）脉冲。 UFI极紫外（EUV）阿秒(miǎo)反射镜是基于高次谐波（HHG）、自由電(diàn)子激光器（FEL）或其他(tā)量子光學(xué)应用(yòng)产生和整形阿秒(miǎo)脉冲的理(lǐ)想选择。可(kě)提供直径為(wèi)25.4mm的平面反射镜和凹面反射镜；如果您的应用(yòng)需要定制中心能(néng)量、带宽或其他(tā)规格的极紫外（EUV）多(duō)层反射镜，请与我们联系。
性能(néng)特点
- 设计用(yòng)于65eV（19nm）下的 330 阿秒(miǎo)脉冲
- 具有(yǒu)38%峰值反射率的多(duō)层镀膜
- ≤1Å 表面粗糙度超抛光基底
- 另外提供专為(wèi)5nm 设计的极紫外（EUV）平面反射镜 和 极紫外（EUV）球面反射镜
技术参数
直径 (mm):25.40 ±0.13
基底: 熔融石英(Corning 7980)
表面质量:10-5 (基质)
涂层规格:Rs > 38% @ 65eV/19nm
涂层: 多(duō)层EUV (19nm)
入射角 (°):5
有(yǒu)效孔径 (%):80设计波長(cháng) DWL (nm):19
边缘: 精细研磨
表面粗糙度（埃）:<1
中心能(néng)源(eV):65 ±2
带宽 (eV):6
支持的脉冲持续时间:330阿秒(miǎo)
边缘厚度 ET (mm):6.35 ±0.20
有(yǒu)效焦距 EFL (mm):500.00
半径 R1 (mm):1000.00
产品参数
