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扫描双轴（倾斜）MEMS反射镜（或“微反射镜”）是一种光束控制（或2D光學(xué)扫描）技术，在许多(duō)行业中使用(yòng)。与竞争产品相比，Mirrorcle Technologies股份有(yǒu)限公司tip-timeMEMS反射镜有(yǒu)几个主要优势。基于ARI-MEMS制造技术的无万向节双轴扫描微镜设备起初是通过位于加利福尼亚州伯克利的亚得里亚海研究所（“ARI”）基于ARI-MEM制造技术的研究项目开发的，无万向节双轴扫描微镜设备在超低功率环境中运行，并在两轴上提供非常快速的光束扫描。该设备使激光束在两个轴上高速偏转至高达32°的光學(xué)扫描角。与现有(yǒu)的大型電(diàn)流计光學(xué)扫描仪相比，我们的设备所需的驱动功率要低几个数量级。我们的静電(diàn)执行器的连续全速操作消耗的功率不到几毫瓦。

MirrorcleTech器件完全由单晶硅制成，具有(yǒu)好的可(kě)重复性和可(kě)靠性。光學(xué)平面和光滑的反射镜上涂有(yǒu)一层具有(yǒu)所需反射率的薄膜。更大的反射镜可(kě)以结合到致动器上，用(yòng)于定制孔径尺寸。直径从0.8毫米到7.5毫米的镜子目前有(yǒu)库存。高达9.0mm的尺寸在特殊应用(yòng)中得到了成功证明。

MirrorcleTech的MEMS微镜技术用(yòng)途广泛，适用(yòng)于各种应用(yòng)。一些器件采用(yòng)某种通用(yòng)的准静态（点对点）性能(néng)规范制造。其他(tā)设备是高度可(kě)定制的，以实现特定的规格集，例如投影显示器。虽然以下描述主要涉及双轴装置，但也有(yǒu)多(duō)个单轴设计可(kě)用(yòng)，包括点对点（准静态）和谐振型。

Mirrorcle Technologies MEMS器件解决了需要光束控制的广泛应用(yòng)。随着光學(xué)扫描或光束转向出现在各种行业和众多(duō)应用(yòng)中，我们的扫描镜在那些需要微型、高速、低功耗或低成本解决方案的应用(yòng)中most為(wèi)有(yǒu)利。