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机電(diàn)大信号应变和极化测量。
压電(diàn)小(xiǎo)信号系数和介電(diàn)常数与直流偏置電(diàn)压的关系。如果已知刚度值，则可(kě)以使用(yòng)附加的aixPlorer软件工具从这些值得出耦合系数。
電(diàn)气和机電(diàn)性能(néng)疲劳。
作為(wèi)電(diàn)气薄膜测试的创新(xīn)者，aixACCT Systems已将公认的双光束技术扩展到可(kě)商(shāng)用(yòng)的双光束激光干涉仪系统，该系统可(kě)进行長(cháng)达8英寸的晶圆表征。用(yòng)于测量d33的双光束激光干涉仪（aixDBLI）可(kě)提供经过验证的精度（x切割石英），可(kě)达0.2 pm / V。该系统的主要特点是单次测量的采集时间极短，仅為(wèi)几秒(miǎo)钟。基于新(xīn)的数据采集算法，测量速度提高了100倍。这使得比较了以相同激励频率记录的薄膜的電(diàn)气和机械数据。由于差分(fēn)测量原理(lǐ)，消除了样品弯曲的影响，这是使用(yòng)原子力显微镜（AFM）进行此类测量的主要障碍。
分(fēn)辨率：1 pm通过x-cut Quartz测试
位移/应变测量：
50 Hz-5 kHz
100 mV至10 V
Max.25 V（可(kě)选）
压電(diàn)d33系数：
偏压（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V
Max.25 V（可(kě)选）
小(xiǎo)信号（1 kHz至10 kHz）：100 mV至10 V
電(diàn)致伸缩M33：与d33相似
C（V）测量：
偏压（1 mHz至1 Hz）：100 mV至10 V
Max.25 V（可(kě)选）
小(xiǎo)信号（1 kHz至10 kHz）：100 mV至10 V
