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美國(guó)KLA-Tencor公司為(wèi)美资半导體(tǐ)(芯片)设备供货商(shāng),公司总部在美國(guó)硅谷,拥有(yǒu) 6000 多(duō)名员工,自1976年成立以来不断致力于产品研究与发展,客户提供更完善更人性化服務(wù),并协助半导體(tǐ)(芯片)厂商(shāng)创造高品质、高效率的产品,目前分(fēn)公司遍布美洲、欧洲、亚洲等國(guó)家。KLA-Tencor 始终致力于帮助其客户降低运营成本并增加收益,并已经成為(wèi)其坚定不移的長(cháng)期合作伙伴。
KLA-Tencor主要产品:
CS20光學(xué)表面分(fēn)析仪
WaferSight PWG已图案晶圆几何形状测量系统
LMS IPRO6 光罩图案位置测量系统
K-T Analyzer 9.0数据分(fēn)析系统
2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统
Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统
Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷
Teron SL650 光罩检测系统
处理(lǐ)450mm硅片的Surfscan SP3系统

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