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产品介绍
COMPex准分(fēn)子激光器是效率高的光源，具有(yǒu)紧凑的设计和易于安装和操作的特点。它们在要求苛刻的应用(yòng)中提供更佳的结果，如固體(tǐ)取样系统（LA-ICPMS）、材料研究（PLD）和准确的材料处理(lǐ)。COMPex具有(yǒu)陶瓷预電(diàn)离功能(néng)，可(kě)提供高达100毫焦耳的输出，以及脉冲上脉冲稳定性。COMPex还配备了一个改进的气體(tǐ)处理(lǐ)器，可(kě)以延長(cháng)气體(tǐ)和光學(xué)寿命。
性能(néng)特点
- 选择157 nm、193 nm、248 nm、308 nm和351 nm波長(cháng)，实现全材料柔性
- 高达750 mJ的更好的脉冲能(néng)量，可(kě)在大视场下进行有(yǒu)效消融
- 75%的脉冲稳定性，均方根值，确保高通量控制
- 基础脉冲控制和系统参数记录，提供智能(néng)和可(kě)复制的薄膜
技术参数
产地：美國(guó)
波長(cháng)：193 nm
脉冲能(néng)量：100 mJ
重复频率：max.50 Hz
平均功率：4 W
能(néng)量稳定性（1西格玛）：≤0.75%
脉冲持续时间（FWHM）：典型值20 ns
横梁尺寸（V x H，FWHM）：典型值14 x 5 mm2
光束发散（V x H，FWHM）：典型值2 x 1 mrad2
光束指向稳定性（1 sigma）：≤50µrad
水冷：≤5升/分(fēn)钟（1.3加仑/分(fēn)钟），10至20°C
连接：1/2“
重量：280公斤（617磅）
尺寸（長(cháng)x宽x高）：1258 x 375 x 813 mm³
（50 x 15 x 32 in.³）
产品尺寸
产品应用(yòng)
PLD–脉冲激光沉积
薄晶圆加工
激光剥离
LA-ICP-MS
产品参数
