GT45A是一款基于ArF浸没式光刻光源GT65A平台,具备高功能(néng)扩展性的机型。通过搭载新(xīn)型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术,可(kě)以在提高生产率的同时,减轻环境负荷。通过光谱宽度的稳定性改善、可(kě)变光谱技术、高可(kě)达90W的高输出功率,满足客户的多(duō)样化需求。
模块寿命延長(cháng)技术
降低维护频率
提高生产率
减轻环境负荷
可(kě)以搭载GT65A可(kě)使用(yòng)的功能(néng)和技术
产地:日本
发射波長(cháng):193 nm
平均输出功率:45 – 90 W
脉冲能(néng)量:11.25 – 15 mJ
发射频率:4,000 – 6,000 Hz
光谱幅度(以 95 %能(néng)量累计,E95,):≤0.5 pm
数据采集:监控的方式
输出方式:晶圆输出
光谱带宽:可(kě)变化
光谱宽度:稳定
半导體(tǐ)工业
专注领域研究 产品供应
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