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GIGAPHOTON准分(fēn)子激光器GT45A

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产品介绍

GT45A是一款基于ArF浸没式光刻光源GT65A平台,具备高功能(néng)扩展性的机型。通过搭载新(xīn)型模块实现的“高运转率”、继承当前机型GT40A的“无氦气”技术,可(kě)以在提高生产率的同时,减轻环境负荷。通过光谱宽度的稳定性改善、可(kě)变光谱技术、高可(kě)达90W的高输出功率,满足客户的多(duō)样化需求。

性能(néng)特点

模块寿命延長(cháng)技术

降低维护频率

提高生产率

减轻环境负荷

可(kě)选功能(néng)与配件

可(kě)以搭载GT65A可(kě)使用(yòng)的功能(néng)和技术

技术参数

产地:日本

发射波長(cháng):193 nm

平均输出功率:45 – 90 W

脉冲能(néng)量:11.25 – 15 mJ

发射频率:4,000 – 6,000 Hz

光谱幅度(以 95 %能(néng)量累计,E95,):≤0.5 pm

数据采集:监控的方式

输出方式:晶圆输出

光谱带宽:可(kě)变化

光谱宽度:稳定

产品应用(yòng)

半导體(tǐ)工业

产品参数

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