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产品介绍
迄今為(wèi)止，我们积累的知识已生产出 600 多(duō)种类型的被动隔振器。对我们的主动隔振器的需求也在不断增長(cháng)，尤其是在半导體(tǐ)等高精度制造行业。以MAPS系列為(wèi)基础，开发出高性能(néng)合理(lǐ)的主动气动悬架系统MRZ系列。可(kě)应用(yòng)于半导體(tǐ)设备、電(diàn)子显微镜、测量机等。
性能(néng)特点
- 每个单元有(yǒu)两个气压执行器：垂直和水平，可(kě)以體(tǐ)验良好的隔振、准确定位性能(néng)。
- FB+FloorFF控制。
- 实现轻巧紧凑，省電(diàn)，价格合理(lǐ)。
技术参数
- 产地:日本
- 供给气压:0.6～0.8(洁净干燥空气)MPa
- 典型耗气量:45-65l/min
- 最大耗气量:120l/min
- 電(diàn)源電(diàn)压:100～240(单相交流電(diàn)，50/60Hz)V
- 最大功耗:120VA
- 环境温度:0～40℃
- 相对湿度:35-85%RH
- 隔振方式:通过气压控制隔振
- 控制器尺寸:W435xD300xH118mm
- 控制器质量:7.5kg
产品参数
