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产品介绍
FemtoLAB 是一款飞秒(miǎo)激光微加工工作站。需要為(wèi)各种任務(wù)定制解决方案的科(kē)學(xué)实验室和研发部的好选择。FemtoLAB 激光工作站提供亚微米分(fēn)辨率的组合激光微加工工艺，可(kě)执行多(duō)种应用(yòng)。
性能(néng)特点
- 制造具有(yǒu)亚微米分(fēn)辨率的复杂物(wù)體(tǐ)
- 高速高精度微加工
- 光束传输和功率控制效率高
- 工业级飞秒(miǎo)激光器
- 高性能(néng)检流计扫描仪
- 物(wù)體(tǐ)运动与激光脉冲时空同步
- 独特的软件界面控制所有(yǒu)硬件单元
技术参数
- 产地：立陶宛
- 推荐材料：所有(yǒu)材料：玻璃、蓝宝石、硅、陶瓷、金属、塑料、光纤等。
- 激光：高功率超短脉冲红外、绿光、紫外激光
- 样本量：兼容最大 160 mm x 160 mm 的设计
- 最小(xiǎo)特征尺寸：200纳米
- 定位系统：XYZ 机械轴，定位精度 +- 0.3 μm，具有(yǒu)连续晶圆级图案化
- 扫描系统：适用(yòng)于所有(yǒu)激光波長(cháng)的振镜系统
- 样品处理(lǐ)：手动与自动对齐
- 尺寸（長(cháng) x 宽 x 高）：1500 × 1350 × 1400mm
- 重量：1100kg
- 電(diàn)源：2x 220 VAC, 16 A
产品参数
