产品中心
产品分(fēn)类
产品分(fēn)类
品牌标签
品牌标签
产品介绍
MProbe Vis薄膜测量系统是紧凑且多(duō)功能(néng)的台式系统。它可(kě)以测量不同基板上10nm – 150μm厚度范围的半透明薄膜。而且，它经济且易于使用(yòng)。MProbe Vis（X） 的生产版本设计用(yòng)于承受振动并使用(yòng) LAN 连接 24/7 全天运行。它可(kě)用(yòng)于在線(xiàn)和OEM应用(yòng)。它与洁净室环境兼容。MProbe20 VisX系统是MProbe20 Vis系统的一个版本，在更長(cháng)的波長(cháng)（>700nm）下具有(yǒu)更高的灵敏度。
性能(néng)特点
- 经济且易于使用(yòng)
技术参数
- 产地：美國(guó)
- 波長(cháng)范围（可(kě)用(yòng)）：400-1000nm（典型校准范围：380-1050nm）和VisX的450nm -1050nm
- 波長(cháng)分(fēn)辨率：< 1nm，20μm狭缝（整个光谱均匀）
- 厚度范围 ： 10nm – 150 μm
- 精度/重复性：<0.01nm 或 0.02%
- 精度：<1nm或0.2%
- 测量光斑尺寸：< 1mm（标准）
- 最小(xiǎo)数据采集时间：10 μs
- 光源：5W TH灯，使用(yòng)寿命10000小(xiǎo)时（可(kě)选：20W TH灯，使用(yòng)寿命2000小(xiǎo)时）
- 通信接口：USB和1Gb LAN
产品参数
