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ALNAIR硅晶圆厚度传感器SIT-200

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  • 品牌名称:ALNAIR
  • 规格型号:SIT-200
产品介绍

用(yòng)于硅晶片的全光學(xué)非接触式厚度传感器

高动态范围,能(néng)够测量混乱的表面

能(néng)够在湿蚀刻过程中进行原位测量

SIT-200使用(yòng)高速扫频可(kě)调激光器(而不是宽带光源)来探测被测晶片。这样就可(kě)以对每个波長(cháng)进行更高功率的测量,从而实现高动态范围。即使在未抛光的晶片上,例如在湿蚀刻期间/之后,也可(kě)以进行厚度测量。硅晶圆厚度传感器由精确调谐的波長(cháng)扫描激光源,聚焦传感器和光接收器(PD)构成。波長(cháng)扫描光聚焦在目标上,并且在通过传感器后,PD会检测到从目标表面反射回来的干涉图样。

产品参数

测量对象:硅片

可(kě)测厚度:10~500(n = 3.5)μm

光源:波長(cháng)扫描激光源

(1515~1585)nm

光输出功率:0.6,激光等级1 mW

引导光源:红色LD,激光等级1M

测量时间:min.20 ms

重复性:小(xiǎo)于0.1(3σ)μm

监控输出:干扰信号(電(diàn)气)

PC接口:以太网

電(diàn)源:AC 100-240(50/60 Hz)V

尺寸(宽x高x深):364 x 147 x 391 mm

重量:9.0 kg

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