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产品分(fēn)类
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快速准确的双面扫描系统
测量速度：2 kHz / 4 kHz / 20 kHz
在x和y方向上移动300 mm（200 mm），横向分(fēn)辨率為(wèi)50 nm，電(diàn)动z轴分(fēn)辨率為(wèi)20 nm
2D轮廓，3D地形图和3D厚度图
扫描范围大
x，y，z分(fēn)辨率，行程為(wèi)max.300 mm（200 mm）
零件厚度max.80 mm
彩色白光传感器
高分(fēn)辨率离轴相机
CT 350T是一款非接触式双面光學(xué)轮廓仪，具有(yǒu)300毫米x，y扫描台。顶部和底部传感器安装在行程為(wèi)100 mm的高精度Z轴上。双面自动对焦功能(néng)甚至可(kě)以测量严重弯曲或弯曲的零件。两个传感器均收集与x，y编码器信号同步的高度数据，并轴向对齐以确保精确的差分(fēn)厚度测量。该软件同时从顶部和底部表面生成2D轮廓和3D贴图，并计算相应的总厚度轮廓或贴图。
运动系统使用(yòng)快速，准确的磁性直線(xiàn)電(diàn)机。通过以4 kHz的数据速率触发彩色白光传感器，可(kě)以将检查时间更小(xiǎo)化。通过在平台孔上安装转接板，该系统可(kě)以用(yòng)作标准光學(xué)表面轮廓仪，使CT 350T成為(wèi)功能(néng)广泛的表面和厚度测量系统。该系统也有(yǒu)较小(xiǎo)的版本，如CT 250T，具有(yǒu)200 mm的行程，非常适合8英寸晶圆或基板和太阳能(néng)晶圆。
集成系统控制器：包括运动控制，传感器控制器（4 kHz），電(diàn)源，工作站的USB接口
工作站電(diàn)脑：查询当前规格，22英寸宽屏显示器
连接方式：以太网，DVD驱动器，USB（正面和背面），并行端口，键盘，鼠标，DVI和模拟视频输出
電(diàn)源要求：100-240 V AC，50-60 Hz，2.0 A（240 V），5 A（100 V）
测量表面尺寸：300 x 300 [mm]（12 x 12 [in]）
線(xiàn)性编码器分(fēn)辨率
X，Y：50 nm（2μin）
Z：5 nm（0.2 µin）
横向分(fēn)辨率：1微米（载物(wù)台分(fēn)辨率：50 nm）
X和Y的行程限制（電(diàn)动）：350 x 300 [mm]（13.8 x 12 [in]）
Z行程限制（電(diàn)动）：100 mm (4 in)
平台上的负载：max.10 kg
可(kě)用(yòng)的传感器：共焦白光传感器
工作温度：18°-20°C（64°F – 68°F）
尺寸（長(cháng)X宽X高）：1290 x 1082 x 1425 [mm]（约43 x 51 x 56 [in]）
重量：650 kg (1.433 lbs)
