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无電(diàn)极设计
-低杂物(wù)/低消耗成本
使用(yòng)氮气产生的2-4nm软X射線(xiàn)
-启用(yòng)台式SXR显微镜应用(yòng)
等离子體(tǐ)尺寸小(xiǎo)
-直径小(xiǎo)于1mm的高亮度
经济高效且紧凑
-每SXR瓦特成本低
-占地面积小(xiǎo)
Energetiq EQ-10SXR源包括一个19英寸的机架，该机架包含气體(tǐ)子系统，功率传输子系统和控制電(diàn)子设备；无電(diàn)极Z-pinch源组件及其集成的真空泵；以及高效脉冲调制器。这种模块化设计可(kě)轻松集成EQ-10SXR能(néng)够将高达400毫瓦的2.8nm功率提供给2pi球面弧度，并能(néng)够以高达2kHz的脉冲重复频率连续运行。
為(wèi)了适应各种应用(yòng)的不同要求，源工作条件是用(yòng)户可(kě)调的。可(kě)以根据用(yòng)户要求针对峰值功率或峰值亮度优化光输出。在典型的操作条件下，等离子體(tǐ)的直径通常小(xiǎo)于1mm。
在无電(diàn)极SXR源组件的正面為(wèi)用(yòng)户提供了一个简单而灵活的光學(xué)接口，以连接到应用(yòng)设备。自定义界面可(kě)满足特定的客户要求。用(yòng)户界面通过彩色触摸屏显示进行操作，并包含允许手动和自动操作的菜单。EQ-10SXR易于安装，仅需電(diàn)源，冷水供应，清洁的干燥压缩空气和高纯度氮气即可(kě)。
用(yòng)于水窗显微镜和6.7nm研发的软X射線(xiàn)源
气體(tǐ)选择：使用(yòng)的NIST光谱数据库
相对强度高的搜索線(xiàn)：只有(yǒu)出现的气體(tǐ)是氖气
操作参数
430 V，1100 Hz
5.5 kW
400 mtorr
输出功率：70 W
