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产品介绍
超紧凑的尺寸
软電(diàn)晕预電(diàn)离
高压固态脉冲发生器
激光头體(tǐ)积<3l
TMC（全金属陶瓷）容器
集成真空泵和卤素过滤器
完全风冷，主动热管理(lǐ)
RS-485，RS232，USB和光纤接口，用(yòng)于系统集成
可(kě)冲洗光學(xué)支架
能(néng)量稳定模式
ATLEX-S系列激光是一种非常紧凑的紫外光源，专為(wèi)中低占空比S应用(yòng)而设计。
产品参数
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气體(tǐ)介质 |
ArF |
KrF |
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波長(cháng) nm |
193 |
248 |
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高压开关技术 |
固态开关 |
固态开关 |
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重复率max. Hz |
300 |
500 |
300 |
500 |
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脉冲能(néng)量max. mJ |
10 |
10 |
15 |
15 |
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平均功率max. W |
2.4 |
4 |
4 |
6 |
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脉冲持续时间 ns |
5-8 |
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光束尺寸（V x H） mm |
4 x 6 |
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光束发散角（V x H）mrad |
1 x 2 |
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能(néng)量稳定性（标准偏差）% |
< 3 |
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尺寸（長(cháng)x宽x高）mm |
630 x 400 x 300 |
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重量 kg |
65 |
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冷却 |
空气 |
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電(diàn)源要求 |
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz |
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